"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1，可以獲得高穩定的束流。
· 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2 · 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的*佳性能 (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) · 采用污染小、高真空樣品倉 · 運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2
*4以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率